该会议论文介绍了基于Si基MEMS技术的0.5THz单脉冲天馈系统的研究成果。文章探讨了在太赫兹频段下，利用MEMS技术实现天线与馈电系统的集成设计，提高了系统的性能和稳定性。研究为高频率、高精度的天线系统提供了新的技术路径，具有重要的应用价值。
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