会议论文《偏压对Cr-DLC纳米复合薄膜表面形貌和结构的影响》探讨了在制备Cr-DLC纳米复合薄膜过程中,不同偏压条件对薄膜表面形貌及微观结构的影响。研究结果表明,偏压参数显著影响薄膜的致密性和均匀性,进而影响其物理性能。该论文为优化薄膜制备工艺提供了理论依据和技术参考,具有重要的应用价值。
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