会议论文《利用电子束蒸发制备铝隧道结工艺研究》发表于第十届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会。该文系统研究了通过电子束蒸发技术制备铝隧道结的工艺流程，探讨了不同参数对隧道结性能的影响，为超导电子器件的制备提供了理论支持和技术参考。
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