以Pw_Pg为组合变量的微晶硅薄膜的沉积相图 - 第十届中国太阳能光伏会议.pdf

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2026-1-12 09:25 | 查看全部 阅读模式

会议论文《以Pw_Pg为组合变量的微晶硅薄膜的沉积相图 - 第十届中国太阳能光伏会议》探讨了微晶硅薄膜沉积过程中,通过调节工作压力(Pw)和气体分压(Pg)的组合变量,构建沉积相图的方法。该研究有助于优化薄膜制备工艺,提升材料性能,对光伏技术的发展具有重要意义。

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以Pw_Pg为组合变量的微晶硅薄膜的沉积相图 - 第十届中国太阳能光伏会议
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