会议论文《单室VHF-PECVD技术制备单结微晶硅及非晶硅_微晶硅叠层薄膜太阳电池的研究》探讨了利用单室VHF-PECVD技术制备高效薄膜太阳能电池的工艺。研究重点在于优化微晶硅与非晶硅叠层结构，提升光电转换效率。通过实验分析了沉积参数对薄膜性能的影响，为低成本、高效率的光伏器件开发提供了理论依据和技术支持。
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