利用孔面积表征Al2O3_PI复合薄膜击穿特性 - 第七届中国纳米科技(西安)研讨会.pdf

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2026-1-12 10:09 | 查看全部 阅读模式

会议论文《利用孔面积表征Al2O3_PI复合薄膜击穿特性》发表于第七届中国纳米科技(西安)研讨会。该文通过分析Al2O3与聚酰亚胺复合薄膜中的孔隙结构,探讨其对击穿电压的影响。研究采用孔面积作为关键参数,建立材料微观结构与电学性能之间的联系,为优化复合薄膜的绝缘性能提供了理论依据。

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利用孔面积表征Al2O3_PI复合薄膜击穿特性 - 第七届中国纳米科技(西安)研讨会
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