会议论文《反应溅射法制备铝钛掺杂氧化锆薄膜及其热稳定的研究》介绍了通过反应溅射技术制备铝钛掺杂氧化锆薄膜的方法，并研究了其热稳定性。该研究对薄膜的结构和性能进行了分析，探讨了掺杂元素对材料热稳定性的改善作用，为高温应用提供了理论依据和技术支持。
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