会议论文《单室VHF-PECVD制备微晶硅薄膜及其在电池中的应用》介绍了采用单室VHF-PECVD技术制备微晶硅薄膜的方法。该方法具有工艺简单、成本低等优势，适用于高效太阳能电池的制备。研究结果表明，所制备的微晶硅薄膜具有良好的光电性能，可显著提升电池效率，为下一代光伏技术提供了新的思路。
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