会议论文《中频磁控溅射制备类金刚石薄膜的功率因素研究》探讨了在制备类金刚石薄膜过程中，功率因素对薄膜性能的影响。该研究通过调整中频磁控溅射的功率参数，分析其对薄膜结构和性能的作用机制，为优化制备工艺提供了理论依据和技术支持。
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