会议论文《内表面等离子体增强化学气相沉积TiN涂层研究 - 第五届中国热处理活动周》探讨了利用等离子体增强化学气相沉积技术在内表面制备TiN涂层的工艺与性能。研究分析了不同工艺参数对涂层结构和性能的影响,为提高材料表面硬度、耐磨性和耐腐蚀性提供了理论依据和技术支持。
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