本文研究了偏压对316L不锈钢上磁控溅射镀铝膜结构的影响。通过调整偏压参数，分析了薄膜的微观结构、致密性和表面形貌的变化。结果表明，适当增加偏压可改善薄膜的结晶性能和附着力，但过高的偏压会导致膜层质量下降。该研究为优化磁控溅射工艺提供了理论依据和技术支持。
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