会议论文《硼氧离子共注入金刚石薄膜的微结构特性》发表于第11届全国固体薄膜会议,研究了硼氧离子共注入对金刚石薄膜微结构的影响。通过分析晶体结构、缺陷分布及表面形貌,揭示了离子注入对材料性能的调控机制,为金刚石在半导体和光学领域的应用提供了理论依据。
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