硼氧离子共注入金刚石薄膜的微结构特性 - 第11届全国固体薄膜会议.pdf

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2026-1-12 17:03 | 查看全部 阅读模式

会议论文《硼氧离子共注入金刚石薄膜的微结构特性》发表于第11届全国固体薄膜会议,研究了硼氧离子共注入对金刚石薄膜微结构的影响。通过分析晶体结构、缺陷分布及表面形貌,揭示了离子注入对材料性能的调控机制,为金刚石在半导体和光学领域的应用提供了理论依据。

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硼氧离子共注入金刚石薄膜的微结构特性 - 第11届全国固体薄膜会议
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