硼碳氮薄膜的制备与表征 - 第十五届全国高技术陶瓷学术年会.pdf

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2026-1-12 17:03 | 查看全部 阅读模式

会议论文《硼碳氮薄膜的制备与表征》发表于第十五届全国高技术陶瓷学术年会,介绍了采用化学气相沉积法合成硼碳氮(BCN)薄膜的研究成果。文章详细探讨了不同工艺参数对薄膜结构和性能的影响,并通过X射线衍射和扫描电子显微镜等手段进行了表征。研究结果表明,该薄膜具有优异的力学性能和热稳定性,有望在高温耐磨涂层领域得到应用。

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硼碳氮薄膜的制备与表征 - 第十五届全国高技术陶瓷学术年会
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