会议论文《直流磁控溅射法制备ITO薄膜的研究》发表于第十届中国太阳能光伏会议，探讨了采用直流磁控溅射技术制备氧化铟锡（ITO）薄膜的工艺与性能。文章分析了不同工艺参数对薄膜结构和电学性能的影响，为提高ITO薄膜的导电性和透光性提供了实验依据，对光伏器件的开发具有重要意义。
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