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磁控溅射陶瓷薄膜(SiOX)阻隔性机理的研究 - 第十二届全国包装工程学术会议.pdf

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2026-1-12 17:05 | 查看全部阅读模式

会议论文《磁控溅射陶瓷薄膜(SiOX)阻隔性机理的研究》探讨了通过磁控溅射技术制备的SiOX薄膜在包装材料中的应用。研究分析了薄膜的结构与性能关系，重点揭示了其优异的气体阻隔机制。该成果对提升包装材料的性能具有重要意义，为相关领域提供了理论支持和技术参考。

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磁控溅射陶瓷薄膜(SiOX)阻隔性机理的研究 - 第十二届全国包装工程学术会议.pdf

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磁控溅射, 机理, 薄膜, 十二届, 陶瓷

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