会议论文《离子束增强沉积技术在薄膜制备中的应用研究》发表于中国化工学会2008年化工机械年会。该文探讨了离子束增强沉积技术在薄膜制备中的关键作用，分析了其对薄膜性能的影响，提出了优化工艺参数的建议。研究为提高薄膜质量与功能化应用提供了理论依据和技术支持，具有重要的工程价值。
文档为pdf格式，0.35MB，总共3页。
举报
