磁控共溅射Al-Cu-Fe薄膜表面形貌分析 - 2008 SAMPE中国国际先进材料与工艺技术展览暨研讨会.pdf

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2026-1-12 17:05 | 查看全部 阅读模式

会议论文《磁控共溅射Al-Cu-Fe薄膜表面形貌分析》发表于2008年SAMPE中国国际先进材料与工艺技术展览暨研讨会。该文研究了通过磁控共溅射法制备的Al-Cu-Fe薄膜的表面形貌特性,探讨了不同工艺参数对薄膜微观结构的影响,为高性能功能薄膜材料的制备提供了理论依据和技术参考。

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磁控共溅射Al-Cu-Fe薄膜表面形貌分析 - 2008 SAMPE中国国际先进材料与工艺技术展览暨研讨会
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