会议论文《磁控共溅射Al-Cu-Fe薄膜表面形貌分析》发表于2008年SAMPE中国国际先进材料与工艺技术展览暨研讨会。该文研究了通过磁控共溅射法制备的Al-Cu-Fe薄膜的表面形貌特性,探讨了不同工艺参数对薄膜微观结构的影响,为高性能功能薄膜材料的制备提供了理论依据和技术参考。
文档为pdf格式,0.38MB,总共5页。
举报