会议论文《磁控溅射制备锌薄膜的工艺与分析》介绍了通过磁控溅射技术制备锌薄膜的实验方法和分析结果。文章详细探讨了工艺参数对薄膜性能的影响，包括沉积速率、薄膜结构及表面形貌等。研究为锌薄膜在功能材料领域的应用提供了理论依据和技术支持，具有重要的科研和产业价值。
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