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磁控溅射制备SiC薄膜的拉曼特性研究 - 第十五届全国复合材料学术会议.pdf

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2026-1-12 17:05 | 查看全部阅读模式

会议论文《磁控溅射制备SiC薄膜的拉曼特性研究》发表于第十五届全国复合材料学术会议，探讨了通过磁控溅射技术制备的SiC薄膜的拉曼光谱特性。研究分析了不同工艺参数对薄膜结构和性能的影响，为SiC薄膜在电子器件中的应用提供了理论依据和技术支持。

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磁控溅射制备SiC薄膜的拉曼特性研究 - 第十五届全国复合材料学术会议.pdf

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磁控溅射, 制备, 复合材料, 薄膜, 十五届

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