会议论文《磁控射频溅射Cu掺杂SnO2薄膜的气敏光学特性研究》探讨了通过磁控射频溅射技术制备Cu掺杂SnO2薄膜,并分析其在气体传感中的光学特性。该研究为开发高性能气敏传感器提供了理论依据和技术支持,具有重要的应用价值。
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