磁控射频溅射Cu掺杂SnO2薄膜的气敏光学特性研究 - 第12届中国湿度与水分学术交流会暨第十届全国气湿敏传感器技术交流会.pdf

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2026-1-12 17:05 | 查看全部 阅读模式

会议论文《磁控射频溅射Cu掺杂SnO2薄膜的气敏光学特性研究》探讨了通过磁控射频溅射技术制备Cu掺杂SnO2薄膜,并分析其在气体传感中的光学特性。该研究为开发高性能气敏传感器提供了理论依据和技术支持,具有重要的应用价值。

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磁控射频溅射Cu掺杂SnO2薄膜的气敏光学特性研究 - 第12届中国湿度与水分学术交流会暨第十届全国气湿敏传感器技术交流会
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