会议论文《磁控溅射掺铒氮化硅薄膜的光致荧光谱》探讨了通过磁控溅射法制备的掺铒氮化硅薄膜的光致荧光特性。研究分析了薄膜的结构与光学性能，重点考察了铒元素对荧光发射的影响。该成果为光电子器件的应用提供了理论依据和技术支持，具有重要的研究价值。
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