会议论文《离子注入制备的纳米硅光致发光特性研究》探讨了通过离子注入技术制备纳米硅材料，并研究其光致发光特性。该研究对于开发新型光电子器件具有重要意义，为硅基光电子集成提供了理论支持和技术参考。
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