会议论文《碳化硼薄膜的电子束蒸发制备及表面分析》介绍了采用电子束蒸发法在基底上制备碳化硼薄膜的过程。文章详细描述了制备工艺参数对薄膜性能的影响，并通过表面分析技术研究了薄膜的形貌与成分。该研究为碳化硼薄膜的应用提供了理论依据和技术支持，具有重要的学术价值和应用前景。
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