会议论文《垂直式HVPE反应器温场的数值模拟》探讨了垂直式氢化物气相外延（HVPE）反应器内的温度分布特性。通过建立三维数学模型，采用数值模拟方法分析了不同工艺参数对温场的影响，为优化反应器设计和提高晶体生长质量提供了理论依据。该研究对于提升半导体材料制备效率具有重要意义。
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