垂直式HVPE生长GaN材料的数值模拟 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-12 11:05 | 查看全部 阅读模式

会议论文《垂直式HVPE生长GaN材料的数值模拟》探讨了利用氢化物气相外延(HVPE)技术在垂直方向上生长氮化镓(GaN)材料的过程。通过建立数学模型,研究了温度场、气体流动及反应动力学对GaN晶体生长的影响,为优化生长参数提供了理论依据,对提升GaN材料质量具有重要意义。

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垂直式HVPE生长GaN材料的数值模拟 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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