在(311)A GaAs衬底上生长的Si掺杂GaAs_AlGaAs P沟道HFET结构材料特性研究 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-12 11:01 | 查看全部 阅读模式

会议论文《在(311)A GaAs衬底上生长的Si掺杂GaAs_AlGaAs P沟道HFET结构材料特性研究》探讨了基于(311)A GaAs衬底的Si掺杂GaAs/AlGaAs P沟道高电子迁移率晶体管(HFET)的材料特性。研究分析了材料的结构质量、电学性能及界面特性,为高性能微波器件的开发提供了重要参考。

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在(311)A GaAs衬底上生长的Si掺杂GaAs_AlGaAs P沟道HFET结构材料特性研究 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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