文档名：硅片减薄用超精磨削金刚石砂轮制备技术研究现状
磨料团聚现象严重,砂轮气孔率低,自锐性差是目前超精磨削金刚石砂轮的主要问题.为了解决这些问题,国内外近年来开展了大量的研究.本文主要综述了国内外运用表面改性,表面包覆法等对改善超细金刚石团聚的研究现状,介绍了采用化学发泡法,浸渍法,高分子网络凝胶法等制备超精磨削砂轮的工艺特点,并分析了这些方法的优点与不足.
作者：苗卫朋 丁玉龙 熊华军惠珍刘宾
作者单位：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司,郑州450001超硬材料磨具国家重点实验室,郑州450001
母体文献：第二十一届中国超硬材料技术发展论坛论文集
会议名称：第二十一届中国超硬材料技术发展论坛
会议时间：2017年9月1日
会议地点：郑州
主办单位：中国机床工具工业协会
语种：chi
分类号：TQ1TH1
关键词：集成电路 硅片减薄 超精磨削金刚石砂轮 磨削加工
在线出版日期：2020年10月26日
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