论文《固结金刚石线锯锯切硅片的正交试验研究》探讨了固结金刚石线锯在锯切硅片过程中的工艺参数优化问题。通过正交试验方法,分析了线速度、进给速度、张力等关键因素对锯切效果的影响,旨在提高切割效率和质量。研究为硅片加工提供了理论依据和技术支持,对提升高端智能装备水平具有重要意义。
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