GD01-011射频功率对类金刚石薄膜性能的影响 - 第10届全国光电技术学术交流会.pdf

论文《GD01-011射频功率对类金刚石薄膜性能的影响》探讨了射频功率在制备类金刚石薄膜过程中的作用。通过实验分析不同射频功率下薄膜的结构与性能变化，研究发现射频功率显著影响薄膜的硬度、致密性和表面形貌。该研究为优化类金刚石薄膜的制备工艺提供了理论依据和技术支持，具有重要的应用价值。

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2025-12-14 14:40 上传 GD01-011射频功率对类金刚石薄膜性能的影响 - 第10届全国光电技术学术交流会.pdf

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