PECVPECVD 法非晶硅薄膜对太阳能级n 型直拉单晶硅片钝化效果的研究 - 第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12).pdf

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2025-12-14 14:51 | 查看全部 阅读模式

该论文介绍了采用PECVD法制备非晶硅薄膜对太阳能级n型直拉单晶硅片的钝化效果。通过实验分析了不同工艺参数对钝化性能的影响,结果表明,非晶硅薄膜能够有效减少表面复合,提高载流子寿命,从而提升太阳能电池的转换效率。研究为高效硅基太阳能电池的制备提供了理论支持和技术参考。

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PECVPECVD 法非晶硅薄膜对太阳能级n 型直拉单晶硅片钝化效果的研究 - 第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)
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