直流电弧喷射法生长电子级自支撑金刚石膜 - 第十三届全国固体薄膜学术会议.pdf

论文《直流电弧喷射法生长电子级自支撑金刚石膜》介绍了采用直流电弧喷射法制备电子级自支撑金刚石膜的研究。该方法通过高温等离子体促进金刚石晶体的生长，实现了高质量、大尺寸金刚石膜的制备。研究对工艺参数进行了优化，提高了金刚石膜的纯度和性能，为电子器件应用提供了重要基础。

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