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高功率MPCVD金刚石膜红外光学材料制备研究 - 第三届红外成像系统仿真测试与评价技术研讨会.pdf

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2025-12-14 10:23 | 查看全部阅读模式

论文《高功率MPCVD金刚石膜红外光学材料制备研究》介绍了采用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）技术制备高质量金刚石膜的过程。研究重点在于提升沉积速率和材料质量，以满足红外光学器件的需求。通过优化工艺参数，实现了具有优良光学性能的金刚石薄膜制备，为红外成像系统提供了新型材料支持。

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高功率MPCVD金刚石膜红外光学材料制备研究 - 第三届红外成像系统仿真测试与评价技术研讨会

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