该论文介绍了纳米片状金刚石膜的制备方法及其生长过程,重点探讨了在不同工艺条件下薄膜的形成机制。研究通过化学气相沉积技术实现了纳米片状金刚石的可控生长,分析了生长参数对薄膜结构和性能的影响,为超硬材料的应用提供了理论依据和技术支持。
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