热丝化学气相沉积法制备优质微米_亚微米级单晶金刚石的研究 - 2011中国(郑州)国际磨料磨具磨削技术发展论坛暨超硬材料论坛.pdf

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2025-12-14 07:57 | 查看全部 阅读模式

该论文介绍了热丝化学气相沉积法(HW-CVD)在制备优质微米至亚微米级单晶金刚石方面的研究。通过优化工艺参数,如气体配比、温度和压力,实现了高质量单晶金刚石的生长。研究结果表明,该方法能够有效提高金刚石的晶体质量与尺寸均匀性,为超硬材料的应用提供了技术支持。

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热丝化学气相沉积法制备优质微米_亚微米级单晶金刚石的研究 - 2011中国(郑州)国际磨料磨具磨削技术发展论坛暨超硬材料论坛
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