该论文介绍了热丝化学气相沉积法(HW-CVD)在制备优质微米至亚微米级单晶金刚石方面的研究。通过优化工艺参数,如气体配比、温度和压力,实现了高质量单晶金刚石的生长。研究结果表明,该方法能够有效提高金刚石的晶体质量与尺寸均匀性,为超硬材料的应用提供了技术支持。
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