基体温度对中频脉冲非平衡磁控溅射技术沉积类金刚石薄膜结构与性能的影响 - TFC‘2011全国薄膜学术研讨会.pdf

论文《基体温度对中频脉冲非平衡磁控溅射技术沉积类金刚石薄膜结构与性能的影响》探讨了基体温度对类金刚石薄膜性能的影响。研究通过TFC‘2011全国薄膜学术研讨会发表，分析了不同温度下薄膜的微观结构和力学性能，揭示了温度对薄膜质量的关键作用，为优化沉积工艺提供了理论依据。

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2025-12-14 04:21 上传 基体温度对中频脉冲非平衡磁控溅射技术沉积类金刚石薄膜结构与性能的影响 - TFC‘2011全国薄膜学术研讨会.pdf

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