等离子体技术制备氧化硅阻隔层薄膜的研究 - 第十二届全国包装工程学术会议.pdf

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2026-1-12 17:19 | 查看全部 阅读模式

会议论文《等离子体技术制备氧化硅阻隔层薄膜的研究》发表于第十二届全国包装工程学术会议。该研究探讨了利用等离子体技术制备高性能氧化硅阻隔层薄膜的工艺与性能。通过优化等离子体参数,提高了薄膜的致密性和均匀性,增强了其在包装材料中的阻隔效果。该成果对提升包装材料的性能具有重要意义。

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等离子体技术制备氧化硅阻隔层薄膜的研究 - 第十二届全国包装工程学术会议
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