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6H-SiC上SiCGe薄膜的光致发光研究 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-12 07:10 | 查看全部阅读模式

会议论文《6H-SiC上SiCGe薄膜的光致发光研究》探讨了在6H-SiC基底上制备的SiCGe薄膜的光致发光特性。研究通过实验分析了薄膜的光学性能，揭示了其在光电器件中的潜在应用价值。该成果为基于SiCGe材料的新型半导体器件开发提供了理论依据和技术支持。

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