一种检验GaN基外延材料质量的简易方法 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-12 08:43 | 查看全部 阅读模式

会议论文《一种检验GaN基外延材料质量的简易方法》介绍了针对GaN基外延材料质量评估的一种简便检测技术。该方法通过优化实验流程,提高了检测效率与准确性,为半导体器件的生产提供了有力支持。文章在第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议上发表,受到广泛关注。

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一种检验GaN基外延材料质量的简易方法 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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