文档名:面向复杂微装配的宏微视觉单元
摘要:针对复杂微装配中视觉高分辨率和大视野难以兼顾的问题,基于无限远成像原理研制了一种宏微视觉单元,通过调配后端的镜筒透镜实现单物镜双通道变倍成像.对宏微视觉单元进行像质评价和精度测试,测试结果表明:在保证工作距离和视野的前提下,宏微视觉单元的测量精度优于0.5μm;测量运动定位的精度优于2μm.最后,利用研制的宏微视觉单元搭建了微装配实验平台,通过在宏成像下姿态调整和微成像下位置对准两步操作,实现了微流控芯片流道和检测光纤的对准连接,表明研制的宏微视觉单元可以胜任同时需要高分辨率和大视野的复杂微装配视觉引导任务.
Abstract:Aimingattheproblemthatitisdifficulttobalancehighresolutionandwideviewfieldincomplicatedmicroassemply,amacroandmicrovisionunitisdevelopedbasedontheprincipleofinfinitelydistantimaging,inwhichtheimagingofdoubleopticalpathsisrealizedbythecombinationoftwotubelenseswithasingleobjectivelens.Theimagingqualityofmacroandmicrovisionunitisevaluatedandprecisiontest.Testresultsshowwhileensuringtheworkingdistanceandfieldofvision,themeasurementprecisionofmacroandmicrovisionispriorto0.5μmandtheprecisionofmotionpositioningispriorto2μm.Atlast,theexperimentalplatformformicroassemblyisbuiltupwiththedevelopedmacroandmicrovisionunit.Withthisplatform,thealignmentconnectionbetweendetectionfiberandamicrochannelinamicrofluidicchipisrealized,throughthetwo-stepoperationofattitudeadjustmentundermacroimagingandpositionalignmentundermicroimaging.Itshowsthatthedevelopedmacroandmicrovisionunitcanbeutilizedforthesecomplexmicroassemblyvisionguidancetasksthatrequireboththehighresolutionandthewidefield.
作者:徐征 杜宏宇 杨一帆 王晓东 王彦琪 韩刚Author:XUZheng DUHongyu YANGYifan WANGXiaodong WANGYanqi HANGang
作者单位:大连理工大学机械工程学院,辽宁大连116085
刊名:传感器与微系统
Journal:TransducerandMicrosystemTechnologies
年,卷(期):2024, 43(3)
分类号:TP23
关键词:显微视觉 微装配 位姿调整
Keywords:microvision microassembly poseturealignment
机标分类号:TP242.2TP391.41TH742
在线出版日期:2024年3月29日
基金项目:国家重点研发计划,辽宁省兴辽英才计划资助项目面向复杂微装配的宏微视觉单元[
期刊论文] 传感器与微系统--2024, 43(3)徐征 杜宏宇 杨一帆 王晓东 王彦琪 韩刚针对复杂微装配中视觉高分辨率和大视野难以兼顾的问题,基于无限远成像原理研制了一种宏微视觉单元,通过调配后端的镜筒透镜实现单物镜双通道变倍成像.对宏微视觉单元进行像质评价和精度测试,测试结果表明:在保证工作距...参考文献和引证文献
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