基于机器视觉的高精度晶圆对准系统 - 第九届全国信息获取与处理学术会议.pdf

论文《基于机器视觉的高精度晶圆对准系统》提出了一种利用机器视觉技术实现晶圆高精度对准的方法。该系统通过图像处理和特征匹配算法，有效提高了对准的准确性和效率。研究在第九届全国信息获取与处理学术会议上发表，为半导体制造领域的自动化技术提供了重要参考。

文档为pdf格式，0.66MB，总共4页。

2025-12-14 04:03 上传 基于机器视觉的高精度晶圆对准系统 - 第九届全国信息获取与处理学术会议.pdf

文件大小:

675.84 KB

下载次数:

60

基于机器视觉的高精度晶圆对准系统 - 第九届全国信息获取与处理学术会议.pdf ...

高速下载