会议论文《溅射系统中(ArH)-Si系等离子体的Langmuir探针诊断》介绍了利用Langmuir探针对(ArH)-Si系等离子体进行诊断的研究。该研究针对溅射系统中的等离子体特性，通过实验分析了电子温度、密度等参数，为优化溅射工艺提供了理论依据。论文在第十二届全国固体薄膜会议上发表，具有重要的学术和应用价值。
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