会议论文《阳极层型气体离子源的特点及应用》介绍了阳极层型气体离子源的结构特点和工作原理，分析了其在薄膜制备中的优势。该论文探讨了该离子源在真空镀膜、表面处理等领域的应用前景，为相关技术的发展提供了理论支持和实践参考。
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