会议论文《靶距对h-BN薄膜结构特性的影响》探讨了靶距对六方氮化硼（h-BN）薄膜结构性能的影响。通过实验分析不同靶距下薄膜的结晶度、表面形貌及成分分布，研究结果表明靶距对薄膜质量有显著影响。该研究为优化h-BN薄膜制备工艺提供了理论依据，对相关材料应用具有重要意义。
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