SiC衬底上物理气相传输法制备AlN晶体的研究 - 第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-11 00:42 | 查看全部 阅读模式

会议论文《SiC衬底上物理气相传输法制备AlN晶体的研究》介绍了在SiC衬底上采用物理气相传输法生长AlN晶体的实验过程与结果。研究探讨了生长条件对AlN晶体质量的影响,为高质量AlN单晶的制备提供了新思路,对宽禁带半导体器件的发展具有重要意义。

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SiC衬底上物理气相传输法制备AlN晶体的研究 - 第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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