会议论文《RF-PECVD法制备柔性衬底非晶硅锗薄膜太阳电池》介绍了采用射频等离子体增强化学气相沉积技术在柔性衬底上制备非晶硅锗薄膜太阳电池的方法。该研究旨在提高太阳能电池的效率与柔韧性，适用于可穿戴设备和柔性电子领域。通过优化工艺参数，实现了高质量薄膜的沉积，为未来柔性光伏器件的发展提供了新思路。
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