会议论文《SiC晶圆的ECR氢等离子体清洗研究》探讨了利用电子回旋共振（ECR）氢等离子体对SiC晶圆进行清洗的技术。该研究旨在提高SiC材料表面的清洁度，以改善器件性能。通过实验分析了不同工艺参数对清洗效果的影响，为SiC器件的制备提供了有效方法。
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