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热原子层沉积与等离子体辅助原子层沉积氧化铝薄膜的比较 - 2014全国(宁波)防锈润滑包装学术研讨会.pdf

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会议论文《热原子层沉积与等离子体辅助原子层沉积氧化铝薄膜的比较》探讨了两种制备氧化铝薄膜的技术。文章对比分析了热原子层沉积（ALD）和等离子体辅助原子层沉积（PAALD）在薄膜性能、生长速率及均匀性方面的差异，为材料制备提供了重要参考。

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热原子层沉积与等离子体辅助原子层沉积氧化铝薄膜的比较 - 2014全国(宁波)防锈润滑包装学术研讨会.pdf

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原子, 等离子体, 氧化铝, 宁波, 薄膜

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