会议论文《ZrN薄膜的制备及其结构与力学性能的研究》介绍了采用物理气相沉积法（PVD）制备ZrN薄膜的过程。研究分析了不同工艺参数对薄膜结构和性能的影响，包括硬度、耐磨性及结合力等关键指标。结果表明，优化工艺可显著提升薄膜的综合性能，为ZrN在高温和耐磨领域的应用提供了理论依据和技术支持。
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