会议论文《不同基底偏压对非晶碳薄膜摩擦学性能的影响》探讨了基底偏压对非晶碳薄膜摩擦学性能的影响。通过实验分析,研究发现基底偏压显著影响薄膜的结构和表面特性,进而改变其摩擦系数和磨损行为。该研究为优化非晶碳薄膜的制备工艺提供了理论依据,对提高材料的耐磨性能具有重要意义。
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