基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器设计制造 - 第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议.pdf

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2026-1-10 04:02 | 查看全部阅读模式

会议论文《基于二悬梁微加热器平台的微纳融合气体传感器设计制造》介绍了新型气体传感器的设计与制造方法。该传感器结合了微纳结构与二悬梁微加热器技术，提升了检测灵敏度和响应速度。研究针对半导体材料进行了优化，实现了高精度气体识别。该成果为微型化、高效能气体传感系统提供了新思路，具有广泛的应用前景。

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